Единый тарифно-квалификационный справочник
Аппаратчик по обслуживанию рекуператоров и системы охлаждения
Раздел:
Полупроводниковое производство
1. Производство и обработка полупроводниковых материалов
5 - разряд
Характеристика работ. Ведение процесса подогрева вторичного воздуха для циклонной печи и подогрева воздуха, идущего на сушку материалов. Регулирование температуры в цепи аппаратов газового тракта. Отбор проб. Наблюдение за монометрическим и температурным режимами аппаратов и выходом грубых возгонов (оборотных материалов), за поступлением воды в змеевики и кессоны водоохлаждаемых аппаратов. Переключение газопроводов. Выгрузка из аппаратов уловленной пыли. Очистка газопроводов и водоохлаждаемых поверхностей оборудования от осевших материалов. Обслуживание дробеочистки рекуператора, запорных и выпускаемых затворов, дросселей, задвижек и другого оборудования, участие в их ремонте. Охлаждение газов водой путем впрыскивания ее форсунками. Увлажнение и затаривание материалов.
Должен знать: устройство аппаратов, выпускных механизмов и другого обслуживаемого оборудования, их назначение и взаимодействие; влияние тяги и температуры газа на режим работы всего газового тракта цеха; схему газовой, воздушной и водяной коммуникаций; состав газов; виды и основные свойства возгонов и сырья; требования, предъявляемые к обслуживанию аппаратов.
При выполнении работ под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 4-й разряд.