Характеристика работ. Шлифование (полирование) пластин пастами, алмазными кругами, тонкими микропорошками с точностью +/- 5 мкм. Шлифование (полирование) опытных образцов пластин. Полирование алмазными пастами и микропорошками; химико-механическое полирование пластин окисью кремния, безабразивным составом и окисью циркония на мягком шлифовальнике (замшевом). Подготовка полировального материала, доводка оправки и проверка ее неплоскостности с помощью лекальной линейки; обезжиривание пластин органическими растворителями (бензином). Определение качества обработанной поверхности. Приготовление суспензии из различных порошков, алмазных паст, минеральных масел, органических кислот, бензина. Выбор рациональных режимов обработки. Одновременное обслуживание двух станков.
Должен знать: режим работы оборудования; способы проверки на точность различных моделей оборудования; правильную дозировку химических компонентов для химико-механического полирования; основные физико-механические свойства полупроводниковых материалов; правила пользования высокоточными контрольно-измерительными приборами; способы подбора микропорошков для достижения заданных параметров шероховатости поверхности; правила посадки пластин.
Примеры работ
1. Пластины (германий, кремний, арсенид галлия); пластины галлий-гадолиниевого граната - полирование субмикронными алмазными порошками.
2. Пластины - шлифование связанными алмазами на станке алмазной шлифовки (САШ-420; СПШ-1; МШ-259).