Единый тарифно-квалификационный справочник
Оператор вакуумно-напылительных процессов
Раздел:
Полупроводниковое производство
2. Производство полупроводниковых приборов, интегральных и твердых схем
2 - разряд
Характеристика работ. Напыление однослойных пленок металлов и стекол на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек и масок без точного совмещения экранов и испарителей в рабочую камеру установки. Загрузка навесок испаряемых металлов и стекол на испарители различных конструкций. Замеры толщины в процессе напыления, контроль сплошности и адгезии.
Должен знать: назначение, устройство и правила эксплуатации обслуживаемых установок; назначение и принцип работы применяемых контрольно-измерительных приборов, правила пользования и обращения с ними; назначение процесса откачки; способы и методы контроля степени вакуума; режимы испарения и осаждения распыляемого материала.