Единый тарифно-квалификационный справочник
Оператор элионных процессов
Раздел:
Полупроводниковое производство
2. Производство полупроводниковых приборов, интегральных и твердых схем
5 - разряд
Характеристика работ. Ведение элионного процесса обработки (легирование, микрофрезерование, микросварка, резка, создание р-п переходов и т.д.) на установках универсального типа и на установках с программным управлением. Настройка установок на заданный технологический режим. Выявление, определение величины и устранение вакуумных течей. Ремонт и наладка различной сложности узлов и механизмов установок.
Должен знать: кинематическую и электрическую схемы установок универсального типа; назначение и устройство контрольно-измерительных приборов; правила и методы наладки установок на заданный режим; правила настройки приборов для контроля процесса обработки; основные методы подготовки и ввода информации в вычислительную машину для управления технологическим процессом; способы устранения неисправностей в процессе работы установок; основы электротехники и вакуумной техники.