Профстандарт: 40.045
Инженер-проектировщик фотошаблонов для производства наносистем (включая наносенсорику и интегральные схемы)
Область: Сквозные виды профессиональной деятельности в промышленности
Код ПС: 40.045
Регистрационный номер: 182
Основная цель вида профессиональной деятельности:Проектирование и сопровождение фотошаблонов, включая подготовку управляющей информации для изготовления фотошаблонов с информационной защитой проектных решений
Вид деятельности: Проектирование фотошаблонов и подготовка управляющей информации для их изготовления
Вид:ОТФ
Уровень: 6
Код для ТФ: A
Другие характеристики:
Название: Проектирование фотошаблонов субмикронного и нанометрового уровней технологии
Возможные наименования должностей, профессий: Инженер-электроник
Инженер-программист
Особые условия допуска к работе: Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований), а также внеочередных медицинских осмотров (обследований) в порядке, установленном законодательством Российской Федерации
Требования к образованию и обучению: Высшее образование - бакалавриат
Дополнительные профессиональные программы - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки
Требования к опыту практической работы: Опыт практической работы более двух лет в должности инженера-программиста или инженера-электроника
Трудовые действия:
Вид:ТФ
Уровень: 6
Код для ТФ: A/01.6
Другие характеристики:
Название: Проведение верификации первичных данных для проектирования фотошаблонов
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Основы технологии производства фотошаблонов и интегральных схем
Технический английский язык
Целевые системы автоматизированного проектирования фотошаблонов, средства разработки программ
Типовые маршруты проектирования фотошаблонов
Необходимые умения: Использовать техническую документацию на проектирование и разработку фотошаблонов
Владеть методами проектирования фотошаблонов и подготовки управляющей информации для их изготовления согласно маршрутной карте для заданного технологического уровня
Владеть технологией разработки программных средств
Определять элементы топологии
Осуществлять входной контроль модуля на соответствие техническому заданию (габариты, тональность, проектные размеры, ориентация, зеркальность, масштаб)
Проверять топологию на наличие линий и фигур, не предусмотренных техническим заданием
Трудовые действия: Анализ первичных данных и согласование технического задания (описание слоев фотошаблона, перечень необходимых операций со слоями, описание необходимых технологических элементов)
Проведение контроля сформированного кадра изображения
Проведение верификации исходных данных, заложенных в техническом задании, на корректность предоставленных данных согласно форме, утвержденной в организации (технические требования - приложение к договору)
Формирование отчета (записи в журнале) о начале работы над проектом (заказом)
Вид:ТФ
Уровень: 6
Код для ТФ: A/02.6
Другие характеристики:
Название: Создание математических моделей элементов коррекции оптических эффектов близости и проведение калибровки созданных математических моделей
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Технический английский язык
Раздел общей физики: оптика (дифракция, интерференция), основы фурье-оптики
Процессы электронно-лучевой и оптической литографии, технологии формирования топологического рисунка с помощью лазерных генераторов изображения
Особенности литографического оборудования при изготовлении фотошаблона
Химические процессы травления фоторезиста
Целевые системы автоматизированного проектирования
Маршруты разработки и проектирования фотошаблонов
Методики верификации фотошаблонов
Возможности скриптовых языков
Булева алгебра
Методы создания моделей коррекции оптических эффектов близости
Необходимые умения: Владеть методиками работы со специализированными программными платформами проектирования и верификации фотошаблонов
Анализировать методы коррекции оптических эффектов близости и коррекции фазового сдвига
Владеть способами коррекции оптических эффектов близости в пределах используемой системы автоматизированного проектирования
Использовать и правильно комбинировать алгоритмы и программы для оптимального проектирования фотошаблонов
Трудовые действия: Анализ технических возможностей литографического оборудования для проектирования фотошаблонов данного технологического уровня
Определение необходимости проведения коррекции оптических эффектов близости
Формирование скриптов коррекции и проведение коррекции оптических эффектов близости
Проведение анализа методов коррекции оптических эффектов близости при проектировании фотошаблонов
Определение и согласование с технологами участка изготовления фотошаблонов параметров коррекции эффектов оптической близости для формирования технологического рисунка на фотошаблоне
Вид:ТФ
Уровень: 6
Код для ТФ: A/03.6
Другие характеристики:
Название: Настройка математических моделей литографического процесса для проведения коррекции оптических эффектов близости
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Раздел общей физики: оптика (дифракция, интерференция), основы фурье-оптики
Высшая математика
Процессы фотолитографии
Методики верификации фотошаблонов
Использование технологии внеосевого освещения для улучшения воспроизведения плотноупакованных топологических структур
Технологии единого интерфейса для управления объектами автоматизации и технологическими процессами специализированных программных платформ
Необходимые умения: Получать адекватную модель литографического процесса, для которого подготавливается данный комплект фотошаблонов
Осуществлять калибровку модели литографического процесса
Проводить коррекцию оптической близости, основанную на математических моделях (распределении интенсивности излучения при экспонировании после прохождения через фотошаблон), наборе правил проектирования (топологический слой по заранее заданному набору правил проектирования проверяется на наличие мест, в которых необходимо провести коррекцию) с учетом вариации процесса
Трудовые действия: Проведение верификации полученной топологии кристалла сверхбольших интегральных схем
Проведение анализа и выбор способов коррекции оптических искажений при проектировании фотошаблонов
Выбор совокупности параметров настройки математической модели литографического процесса для проведения коррекции оптических эффектов близости
Вид:ТФ
Уровень: 6
Код для ТФ: A/04.6
Другие характеристики:
Название: Проведение оптимизации параметров топологии в соответствии с техническим заданием
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Технический английский язык
Оптика - дифракция, интерференция
Процессы электронно-лучевой и оптической литографии
Целевые системы автоматизированного проектирования
Маршрут разработки и проектирования фотошаблонов
Методики верификации фотошаблонов
Возможности скриптовых языков
Базовые маршруты разработки и верификации сверхбольших интегральных схем, в том числе систем на кристалле
Необходимые умения: Проверять ключевые параметры топологии (тональность, критичные элементы, габаритные размеры, метки совмещения, метки проекционной литографии) на соответствие техническому заданию и правилам проектирования
Проводить конвертацию топологических данных во внутренний формат оборудования
Владеть методологией коррекции оптических эффектов близости, контроля линейных размеров топологических элементов
Проводить обработку топологии фотошаблонов в соответствии с требованиями технического задания
Создавать служебные элементы фотошаблонов: метки совмещения, мультипликации, штрих-код, текстовые метки
Проводить полный цикл автоматизированного проектирования фотошаблона
Трудовые действия: Проведение верификации параметров исходной топологии (тональность, критичные размеры, габаритные размеры поля фотошаблона, координаты центра, наличие маркировки, метки совмещения, метки для проекционной литографии) на соответствие техническому заданию и правилам проектирования
Проведение обработки топологии фотошаблона в соответствии с требованиями технического задания (операции позиционирования слоя, изменение тональности слоя, коррекции размеров для каждого слоя, коррекции эффектов оптической близости, коррекции фазового сдвига для слоя с применением фазосдвигающих масок)
Вид:ТФ
Уровень: 6
Код для ТФ: A/05.6
Другие характеристики:
Название: Разработка виртуального прототипа фотошаблона
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Технический английский язык
Целевые системы автоматизированного проектирования, системы разработки программных средств
Методики верификации фотошаблона
Языки программирования высокого уровня, используемые в целевых системах автоматизированного проектирования
Методики верификации фотошаблонов для заданного технологического уровня
Технологический маршрут изготовления фотошаблонов
Особенности литографического оборудования, применяемого для изготовления фотошаблонов
Необходимые умения: Владеть специализированными программными платформами проектирования фотошаблонов
Программировать на языках высокого уровня
Проводить сборку готового фотошаблона: подключать баркод, проверять метки совмещения, метки контроля, тестовые структуры, топологию
Осуществлять конвертацию управляющей информации в формат литографического оборудования
Проводить анализ проектных решений топологии фотошаблонов применительно к технологии их изготовления и используемому технологическому оборудованию
Проверять ключевые параметры конечной топологии на соответствие техническому заданию и правилам изготовления
Трудовые действия: Формирование служебных элементов фотошаблона, необходимых для производственного и контрольно-измерительного оборудования
Формирование виртуального прототипа фотошаблона (рамки, служебной информации) с определением координат всех служебных элементов
Размещение топологии кристалла и тестовых структур в рабочем поле фотошаблона согласно техническому заданию и правилам проектирования
Объединение топологии кристалла и служебной информации в один файл, осуществляющий сборку фотошаблона
Согласование полученной управляющей информации с заказчиком
Проверка выходных данных на соответствие техническому заданию
Проведение верификации проекта на соответствие правилам изготовления
Вид:ТФ
Уровень: 6
Код для ТФ: A/06.6
Другие характеристики:
Название: Проведение подготовки управляющей информации для оборудования участка изготовления фотошаблонов
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Целевые системы автоматизированного проектирования
Базовые методы защиты информации
Процессы литографии
Правила разработки документации в соответствии со стандартом организации
Методики верификации фотошаблона на соответствие правилам изготовления
Необходимые умения: Проводить анализ топологии фотошаблонов применительно к технологии их изготовления и используемому технологическому оборудованию
Проверять ключевые параметры конечной топологии на соответствие техническому заданию и правилам изготовления с учетом перекрытия слоев, расстояния между элементами, ширины элементов
Осуществлять перевод данных в управляющую информацию для лазерного или электронно-лучевого генератора изображений, установок контроля критических размеров, аттестации на дефектность
Трудовые действия: Проведение операции разбиения элементов топологии кристалла на геометрические примитивы, соответствующие форматам технологических установок
Проверка выходных данных на соответствие техническому заданию
Проведение верификации проекта на соответствие правилам изготовления
Конвертация данных в формат используемого лазерного генератора изображений либо в формат установки, используемой сторонним изготовителем фотошаблонов
Вид:ТФ
Уровень: 6
Код для ТФ: A/07.6
Другие характеристики:
Название: Подготовка комплекта конструкторской документации на проектирование фотошаблонов
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Целевые системы автоматизированного проектирования
Методы информационной защиты
Маршрут проектирования фотошаблонов соответствующего уровня технологии
Технический английский язык
Нормативные документы, регламентирующие конструкторскую деятельность по фотошаблонам
Правила оформления проектной документации
Регламенты ведения документооборота, используемые в организации
Необходимые умения: Проверять конструкторскую документацию на соответствие государственным нормативным документам и требованиям международных стандартов
Работать с программными продуктами, текстовыми редакторами, офисными приложениями систем электронного документооборота
Читать и применять технические нормативные документы (маршрутные и технологические карты, внутренние регламенты организации)
Трудовые действия: Разработка конструкторской документации на проектирование фотошаблонов с учетом защиты информации
Согласование разработанной конструкторской документации
Утверждение конструкторской документации на проектирование комплекта фотошаблонов
Вид:ТФ
Уровень: 6
Код для ТФ: A/08.6
Другие характеристики:
Название: Составление сопроводительной документации на комплект фотошаблонов
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Целевые системы автоматизированного проектирования
Процесс фотолитографии, химического травления
Маршрут проектирования фотошаблонов соответствующего уровня технологии
Технический английский язык
Соответствующие государственные и технические нормативные документы
Правила оформления проектной документации
Регламенты ведения документооборота, используемые в организации
Необходимые умения: Контролировать качество сопроводительных документов и соответствие их государственным нормативным документам и международным стандартам
Работать с программными продуктами, текстовыми редакторами
Читать и применять технические и нормативные документы: маршрутные и технологические карты, внутренние регламенты организации
Трудовые действия: Разработка сопроводительной документации на комплект фотошаблонов
Согласование с технологом участка изготовления фотошаблонов сопроводительной документации на комплект фотошаблонов
Утверждение сопроводительной документации на комплект фотошаблонов
Формирование отчета в журнале о выполнении проекта
Вид:ОТФ
Уровень: 7
Код для ТФ: B
Другие характеристики:
Название: Разработка маршрута проектирования фотошаблонов в технологии субмикронного и нанометрового диапазонов
Возможные наименования должностей, профессий: Ведущий (главный) инженер-проектировщик
Особые условия допуска к работе: Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований), а также внеочередных медицинских осмотров (обследований) в порядке, установленном законодательством Российской Федерации
Требования к образованию и обучению: Высшее образование - специалитет, магистратура
Дополнительные профессиональные программы - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки
Требования к опыту практической работы: Опыт практической работы более трех лет в области проектирования фотошаблонов
Трудовые действия:
Вид:ТФ
Уровень: 7
Код для ТФ: B/01.7
Другие характеристики:
Название: Проведение анализа этапов проектирования и разработка требований и спецификаций к ядру системы проектирования фотошаблонов
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Технический английский язык
Технологии производства фотошаблонов и интегральных схем
Типовые маршруты проектирования фотошаблонов в зависимости от технологического уровня
Булевы операции
Программное обеспечение архивации, аварийного восстановления в случае сбоев
Ситуация на мировом рынке фотошаблонов под разные топологические нормы (основные производители, цены, масштаб выпуска)
Необходимые умения: Находить решения технических проблем, пользуясь технической документацией и современными информационными технологиями
Проводить полный цикл автоматизированного проектирования фотошаблона
Использовать целевые системы автоматизированного проектирования, программные средства системы автоматизированного проектирования фотошаблонов
Конвертировать имеющийся формат описания топологии в формат литографического оборудования
Проверять ключевые параметры топологии (тональность, критичные элементы, габаритные размеры, метки совмещения, метки проекционной литографии) на соответствие техническому заданию и правилам проектирования
Использовать методы защиты информации; повторно использовать проектную информацию, хранящуюся в базе данных на сервере
Работать с программными продуктами, текстовыми редакторами: операционными системами с сетевыми приложениями
Трудовые действия: Изучение документации и проведение анализа возможностей специализированных программных платформ и спецификации технологического оборудования для проектирования фотошаблонов
Проведение анализа базовой информации (техническое задание, спецификации, технические требования по проекту) для проектирования фотошаблонов заданного технологического уровня
Формирование перечня компонентов и опций для создания расширяемой структуры системы проектирования (ядра) фотошаблонов, обусловленного технико-экономическими возможностями выбранных программных платформ
Определение возможности наличия критических слоев в комплекте фотошаблонов для заданного технологического уровня
Формирование специфических требований к литографии для всех критических слоев заданного технологического уровня
Разработка детального описания этапов маршрута проектирования для каждого технологического слоя, включая разделение технологических слоев на группы (простая технологическая коррекция, коррекция эффектов оптической близости на основе эмпирических правил и на основе моделей)
Формирование служебной технологической информации, состоящей из знаков базирования установки фотолитографии, маркировки фотошаблонов, штрих-кода и других элементов, необходимых для технологического оборудования
Разработка требований к рамке виртуального прототипа фотошаблона, содержащей служебную технологическую информацию
Разработка рекомендаций по оптимальному размещению топологии кристаллов в заданной области (рамки виртуального прототипа фотошаблона)
Определение требований к программно-аппаратному комплексу проектирования фотошаблонов в соответствии с выбранным набором компонентов и опций специализированных программных платформ
Составление технико-экономического обоснования выбранных программно-аппаратных средств для реализации системы проектирования фотошаблонов
Вид:ТФ
Уровень: 7
Код для ТФ: B/02.7
Другие характеристики:
Название: Разработка требований, спецификаций и формирование перечня прикладного программного обеспечения маршрута проектирования фотошаблонов под требуемый уровень технологии
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Технический английский язык
Оптика (дифракция, интерференция, основы фурье-оптики)
Литографический процесс, особенности конкретного оборудования фотолитографии
Целевые системы автоматизированного проектирования
Методика проектирования фотошаблонов
Особенности конкретного оборудования, используемого для фотолитографии
Методики верификации фотошаблонов
Возможности скриптовых языков
Технологии выполнения коррекции эффектов оптической близости
Необходимые умения: Использовать методики коррекции оптических эффектов близости, коррекции фазового сдвига
Использовать целевые системы автоматизированного проектирования, формировать необходимые модификации системы автоматизированного проектирования
Определять оптимизированное размещение топологии кристалла с помощью специализированных программных платформ
Трудовые действия: Анализ документации используемого литографического, электронно-лучевого и контрольно-измерительного оборудования с целью определения технических возможностей проектирования и изготовления фотошаблонов с заданными параметрами
Выбор технических средств (или анализ имеющихся параметров) и специального программного обеспечения
Анализ методов и способов коррекции оптических искажений при изготовлении фотошаблонов для заданного технологического уровня
Разработка маршрутных карт, описывающих последовательность технологических операций проектирования фотошаблонов для заданного технологического уровня
Вид:ТФ
Уровень: 7
Код для ТФ: B/03.7
Другие характеристики:
Название: Проведение тестирования и верификации разработанного маршрута проектирования фотошаблонов
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Технический английский язык
Основы технологии производства интегральных схем
Процессы электронно-лучевой литографии, лазерные генераторы изображения
Маршрут разработки и проектирования фотошаблонов
Системы проектирования программных средств, языки программирования
Методики верификации фотошаблонов
Методики измерения критических размеров элементов фотошаблона
Маршруты аттестации фотошаблонов через измерение рассовмещения фотошаблонов в наборе; определение и классификация дефектов; сравнение исходных и проектных топологических данных с реализованными на шаблоне заданного технологического уровня
Необходимые умения: Пользоваться технической документацией
Проводить полный цикл автоматизированного проектирования фотошаблонов
Автоматизировать этапы разработки, запуска и анализа результатов тестов
Применять методологию контроля линейных размеров топологических элементов
Владеть методами проектирования фазосдвигающих фотошаблонов
Создавать тестовые фотошаблоны для построения математической модели
Использовать соответствующие программные средства
Трудовые действия: Определение совместно с технологами участка изготовления фотошаблонов требований к тестовым топологическим элементам заданного технологического уровня, обусловленных технологическими возможностями используемого литографического оборудования
Разработка тестовых топологических элементов к фотошаблонам заданного технологического уровня
Формирование наборов тестовых топологических структур для всех критических слоев с целью создания калибровочных моделей
Размещение тестовых элементов в рабочем поле фотошаблона (меток и служебной технологической информации)
Выполнение процедур передачи управляющей информации на участок изготовления фотошаблонов
Проведение верификации и проверки литографических правил
Выполнение процедур запроса проведения контрольно-измерительных тестов изготовленного фотошаблона (толщина линий, наличие дефектов, геометрических отклонений)
Выполнение процедур запроса статистических данных для анализа корректности тестовых структур фотошаблонов
Формирование отчета о тестировании с использованием описания соответствия изготовленного фотошаблона исходным требованиям и рекомендациям по оптимизации размещения элементов топологии, выбору методов коррекции, повышению выхода годных
Внесение изменений в маршрутную карту проектирования фотошаблонов, обусловленных технологическими возможностями используемого оборудования и результатами тестирования
Вид:ОТФ
Уровень: 7
Код для ТФ: C
Другие характеристики:
Название: Выполнение внутрипроизводственных мероприятий по обеспечению информационной безопасности при проектировании фотошаблонов
Возможные наименования должностей, профессий: Ведущий (главный) инженер-проектировщик
Особые условия допуска к работе: Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований), а также внеочередных медицинских осмотров (обследований) в порядке, установленном законодательством Российской Федерации
Требования к образованию и обучению: Высшее образование - специалитет, магистратура
Дополнительные профессиональные программы - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки
Требования к опыту практической работы: Опыт практической работы более трех лет в области проектирования фотошаблонов
Трудовые действия:
Вид:ТФ
Уровень: 7
Код для ТФ: C/01.7
Другие характеристики:
Название: Проведение анализа новейших исследований в области информационной безопасности и защиты данных при проектировании фотошаблонов
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Базовые методы обеспечения информационной безопасности при использовании сети Интернет; составление протокола передачи файлов в сетях Интернет
Технологии производства интегральных схем и проектирования фотошаблонов
Технический английский язык
Правила оформления проектной документации
Средства защиты программ
Регламенты обеспечения информационной безопасности, используемые в организации
Необходимые умения: Владеть методами защиты первичной информации (программное обеспечение авторизации в системе приема первичных данных как формы заказа при проектировании фотошаблонов, мобильные носители данных)
Владеть разработанными в организации специализированными методами защиты информации
Использовать специализированное программное обеспечение защиты от вторжений (антивирусы, брандмауэры)
Трудовые действия: Проведение анализа угроз информационной безопасности проекта
Проведение анализа новейшие исследований, публикаций и других источников информации по способам защиты информации и проектных данных при проектировании и изготовлении фотошаблонов
Выработка рекомендаций по эффективным методам защиты проектных решений
Вид:ТФ
Уровень: 7
Код для ТФ: C/02.7
Другие характеристики:
Название: Разработка регламента обеспечения информационной защиты проектных решений при проектировании фотошаблонов
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Технический английский язык
Специализированные программные платформы проектирования фотошаблонов, средства разработки программ
Тиражирование решений: программного обеспечения выгрузки из базы данных проектных решений; программного обеспечения шифрования данных; программного обеспечения генерации ключей доступа; программного обеспечения авторизации
Технология и методы обеспечения информационной безопасности функционально-структурной модели подсистемы каталогизации проектной информации (программного обеспечения приема топологической информации, загрузки в базу данных отработанных проектных решений, шифрования данных, архивации)
Необходимые умения: Использовать специализированные методы защиты информации, разработанные в организации
Эффективно использовать новые технологии защиты информации в разработке регламента информационной защиты проектных решений
Использовать специализированные аппаратные и программные средства обеспечения конфиденциальности и защиты информации (системы контроля доступа, системы авторизации, системы антивирусной защиты)
Трудовые действия: Анализ технической документации на проектирование фотошаблонов, сопутствующее оборудование и программное обеспечение
Оценка существующего регламента обеспечения защиты проектных решений при проектировании фотошаблонов
Консультации со специалистами в области информационной безопасности по обеспечению защиты проектных решений при проектировании фотошаблонов
Корректировка регламента обеспечения защиты проектных решений при проектировании фотошаблонов
Вид:ТФ
Уровень: 7
Код для ТФ: C/03.7
Другие характеристики:
Название: Контроль выполнения внутреннего регламента информационной защиты проектных решений
Возможные наименования должностей, профессий:
Особые условия допуска к работе:
Необходимые знания: Правила оформления проектной документации
Способы защиты проектных решений
Методы информационной защиты: методы тиражирования проектных решений, программное обеспечение выгрузки из базы данных проектных решений, программное обеспечение шифрования данных, программное обеспечение генерации ключей доступа, программное обеспечение авторизации
Основы управления персоналом
Основы организации эффективного взаимодействия и деловых коммуникаций в коллективе
Знание технологического регламента
Необходимые умения: Использовать базовые методы защиты информации
Использовать внедренные в организации специализированные методы защиты информации
Использовать специализированные аппаратные и программные средства обеспечения конфиденциальности и защиты информации (система контроля доступа, система авторизации, система антивирусной защиты)
Применять средства криптографической защиты информации
Трудовые действия: Проведение инструктажа персонала о профилактике защиты проектных данных техническими и административными методами
Проведение периодических проверок систем защиты проектных решений согласно требованиям и регламентам организации
Проведение контроля соблюдения административных процедур защиты информации, ведения журнала учета нештатных ситуаций